| 扫描探针式原子力显微镜光束跟踪系统 |
| US11146517 2005-6-6 发明申请 |
| 2006-12-7 |
| 本发明公开了一种新型扫描探针式原子力显微镜，其减少了探针的假偏转。 扫描探针式原子力显微镜的探针在扫描期间在水平方向和垂直方向上移动，同时样品保持不动。 为了减少扫描运动给探头带来的假偏移，采用了两种方法。 第一种是使聚焦的激光光斑跟踪探头悬臂上的不变点，该不变点在扫描过程中三维移动。 第二种方法是使从移动悬臂反射的激光束在样品远离探针并且不引起偏转时撞击PSD的不变点。 一种光束架系统，其中扫描探针大致位于物镜的焦点处，并且光学系统包括激光源，光学模块，反馈模块和探针，由接近机构驱动以同步移动。 |
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