| 扫描型探针显微镜和悬臂驱动装置 |
| WOJP06310535 2006-5-26 发明申请 |
| 2006-12-7 |
| 一驱动激光器单元(11)施加一激光束以一悬臂(5)以热扩展\/变形。一驱动激光控制单元(13)控制所述激光束的强度根据所述悬臂的一位移(5)检测到由一传感器(9)，以执行反馈控制的所述悬臂(5)。一热响应补偿电路(35)具有一个配置等效一种热转印到一反向的传递函数该悬臂(5)的功能和补偿延迟的所述的热响应所述悬臂(5)与相对于所述光束的应用。此外，该悬臂(5)可以通过控制激发所述激光束的强度。通过控制所述光束的强度，所述所述杆的共振Q值系统还控制。因此，它是可能的，以增加所述原子力显微镜的扫描速度。 |
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