| 探针和用于扫描探针显微镜的方法 |
| US11380349 2006-4-26 发明申请 |
| 2006-11-23 |
| 一种测量仪器探头，其具有向外延伸的传感杆，该传感杆具有至少两个区段，至少在操作期间，所述区段具有与所述杆的另一区段的有效弹簧常数不同的有效弹簧常数。 感测杆优选地包括固定在悬臂的一端或邻近悬臂的一端的悬臂，并且包括优选地设置在悬臂的自由端或邻近悬臂的自由端的探测杆台，并且悬臂能够以使得探测杆台具有大于设置在探测杆台之间并且悬臂固定的至少一个其它杆台的有效弹簧常数K1的方式被驱动或激励。 可选地，感测杆被制造成包括探测杆台，该探测杆台比与其基本相邻的至少一个其它杆台更硬。 |
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