| 微粒射线显微镜和组件移结构用于真空分析仪 |
| JP2005134762 2005-5-6 发明申请 |
| 2006-11-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜，其可以一种简单的操作低真空中的开关二次电子检测到其它检测等一反射器的电子检测，而不暴露一测试件室，以一种气氛。溶液 : 一个环型电极16用于一种低真空的二次电子检测被固定在所述端杆24一测试件中插入一个开口的口21室和所述杆24中的被推\/拉所述的外侧上进行该测试片室，和一个电极16被使能脱离\/后退在一反射器之间的空间电子检测器23固定在下侧的一物镜和所述测试件15。作为结果，它是可能的，以开关一低真空二次电子检测模式到其它检测模式在一个简单操作该测试片的外侧腔室和一高灵敏度检测成为可能在每个观察。版权 : (C)2007，inpit |
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