| 长工作距干涉显微镜系统 |
| CN200610082957.0 2006-6-21 发明申请 |
| 2006-11-15 |
| 本发明公开了一种长工作距干涉显微镜系统，包 括：起偏器、分束器、长工作距显微镜和由两个光轴互相垂直 的双折射直角棱镜粘合而成的渥拉斯顿棱镜，光源经过所述起 偏器形成线偏振光，并经所述分束器反射后再通过所述渥拉斯 顿棱镜，将入射线偏振光分成两束具有微小夹角并且振动方向 互相垂直的线偏振光，该两束光投射到被测量样品上，从被测 量样品表面反射回的两束正交线偏振光经原路返回，由所述渥 拉斯顿棱镜重新复合共线，并经过一四分之一波片形成椭圆偏 振光，再经过一检偏器后形成偏振方向相同的线偏振光。本发 明对机械振动、空气扰动、以及温度变化等外界环境不敏感， 其垂直测量分辨率达到50个纳米量级，具有50mm以上的工 作距离。 |
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