| 光学系统以及光学显微镜 |
| CN200610079133.8 2006-5-10 发明申请 |
| 2006-11-15 |
| 本发明公开一种将入射光的强度分布校正为平 坦的强度分布的光学系统，该光学系统包括：第一透镜组，其 包括至少一个透镜，并且具有正折射率；第二透镜组，其包括 至少一个透镜，并且具有负折射率，在入射光方向上第二透镜 组位于第一透镜组之后；以及第三透镜组，其包括至少一个透 镜，并且具有正折射率，在入射光方向上第三透镜组位于第二 透镜组之后。在该光学系统中，使得入射光准直，并且利用第 一透镜组的球面像差、第二透镜组的球面像差和第三透镜组的 球面像差将入射光的强度分布校正为平坦的强度分布。 |
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