| 用于超高真空扫描隧道显微镜系统的减震台 |
| CN200520113301.1 2005-7-11 实用新型 |
| 2006-11-15 |
| 本实用新型公开了一种用于超高真空STM系统 的新型气动减震台，包括：三条空气腿、三个钢罩和三角形支 架，钢罩垂直安装在三角形支架的三个角上，所述钢罩为半包 围形，并分别套装所述三条空气腿上，所述三角支架上在靠近 三个角的位置上分别还安装有支撑超高真空系统的支撑板，所 述支撑板距地的高度低于所述空气腿的高度。本实用新型的有 益效果是，整体结构更加简洁有效，加工制作和操作使用变得 更为容易，成本得到降低，兼容性得到提高，因此可应用于多 种超高真空扫描隧道显微镜(STM)系统。 |
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