| 一种扫描电子显微镜的孔径组件 |
| KR1020050038103 2005-5-6 发明申请 |
| 2006-11-10 |
| 目的 : 一种扫描电子显微镜的一个孔组件被设置，以增加所述孔的数量和简化了一种通过使用一圆形孔板对准过程。结构 : 一种扫描电子显微镜的一个孔组件包括一本体，一圆形孔板(120)，和一个板旋转单元(130)。所述本体包括一导向部分(111)，其被移动到一个X-轴方向和Y-轴通过操作一个X-轴方向控制旋钮和一个Y-轴控制旋钮。所述圆形孔板被安装在所述顺序中所述主体的导向部分以一种电子束路径上被定位。一种多个用于聚焦电子束的孔(121)被形成沿着所述圆形孔板的边缘。所述板旋转单元转动所述圆形孔板，kipo2007 |
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