| 光电显微镜的物镜，用于所述紫外区的光谱与所述拉管∞ |
| RU2006122497 2006-6-23 实用新型 |
| 2006-11-10 |
| 使用 : 所述的光学仪器制造之前，所述的光刻之前微电子工业，和，特别是，光刻对象的[DL]counterol，硅酸板和该等所述任务 : 一种由于以改进在所述物镜的光学参数[umensheni]的失真和[uvelicheni]，[teletsentrichnosti]，前部分和线性性别，和还在所述质量的改进的光学isobramarry由于[umensheni]所述的均方根波前和[uvelicheni]的变形的孔径。香精 : 所述的光电显微镜物镜的[DL]所述的紫外区域的所述光谱与所述绘制管无穷大，其包含一个石英玻璃的透镜，[shchiy的sosto][]不低于所述的组的三个正弯月面的，通过凹部倒到所述对象，三个DVO的[kovypuklykh]的透镜组和所述的DVO[kovognutoy]透镜，是提供为了附加的三透镜组与该负的光功率-g=-(0，25a÷10a)，3)，其中-为整个物镜光学所述的力，通过所述建立在该点DVO[kovognutoy]的透镜，以及通过该弯月面，建立通过该组之间的所述物体的凸度到所述平面的DVO[kovypuklykh]的透镜和正弯月面的，在这种情况下是光学所述的力的[udovletvor的所述的弯液面M][ET]到所述m=-的条件(0，106a÷10a)，08)，在这种情况下该组的所述的正弯月面的包含四个透镜，和其具有光学所述的力1=(0，2a÷10a)，25)，三是光学的组的所述的2力的DVO所述的[udovletvor][kovypuklykh]的透镜2=[ET]到所述的条件(0，12a÷10a)，18)，是光学所述力的DVO所述[kovognutoy]的透镜3的[udovletvor]的[ET]3=-到所述的条件(0，7a÷10a)，09)，被附加它是三透镜组，它是由从所述[kovognutoy]的透镜DVO，弯月面，通过凹部建立到所述物体和[kovypukloy的DVO]透镜，在这种情况下，所述透镜的功率[udovletvor]波长走带机构到所述条件 : 1g=-(0，1a÷10a)，13)。2g=-的(0，15a÷10a)，19)的3g=(0，202a÷10a)，04)，其中1g-它是所述的光学该力DVO[kovognutoy]透镜，2G-是光学所述的弯液面力，3G是[kovypukloy]透镜的光学该力DVO。1[N]。[P]。公式的，1说明。 |
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