| 扫描用于扫描探针显微镜级 |
| JP2005128267 2005-4-26 发明申请 |
| 2006-11-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描级用于一个扫描探针显微镜以及以下高的速度扫描。溶液 : 该扫描阶段是由一用于保持一样品以被观察到的样品架9和一个扫描机构可移动的所述样品台9在XYZ方向。所述扫描机构构成的一个由一可动部的XY-阶段4，XY-弹性部件，Z-弹性构件7a和7b以及一固定部分5，一固定架1以其所述XY-级被固定，压电材料2a一种用于移动所述可动部4在X-方向，一个用于移动所述可动部分的压电材料4一个Y-方向和一压电材料3中用于移动所述样品台9在Z-方向。所述压电材料3用于驱动中使用在所述Z-方向被固定到所述的上表面的所述可动部分4和所述样品支架9被固定到所述压电材料3的上表面由蜡10。版权 : (C)2007，inpit |
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