| 显微镜聚焦位置高度精确的测量方法 |
| JP2005134677 2005-5-2 发明申请 |
| 2006-11-9 |
| 要解决的问题 : 一样品以提供一个高度精确的测量方法与其中一个聚焦位置的位置和所述样品的位置是与高精度测量和在一个宽的范围，即使在该时间的荧光图像观察不损失与相对于一个处理机例如不耐光照射，等和一种样品具有低反射率。溶液 : 当光用于位置测量是通过一种具有高数量的孔径区域包括所述整个反射一个物镜的边缘部的区域，强反射的光获得的是，即使在所述样品与低一个透明样品中反射率，等通过所述整个样品所反射的光从一边界表面和反射从一个大的照明光的角度。当该边界表面的所述样品在所述高度变化ΔZ的方向，所述反射的光被视为从一个位置移到出现由ΔX要提供的ΔX=ΔZ×tan!θ!]在所述水平方向在所述边界的所述样品的表面和较大的变化ΔX是获得即使以Δz的变化通过增加一个角度的入射[!θ!]。该样品的位置高度精确的测量是通过引入位置不影响执行所述的荧光图像观察测量一种显微镜的光学路径上的光图像通过使用一种二向色镜，用于荧光在公共与用于位置测量。版权 : (C)2007，inpit |
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