| 扫描电子显微镜的二次电子和背散射电子的检测器系统 |
| US11403823 2006-4-14 发明申请 |
| 2006-11-9 |
| 一种用于在扫描电子显微镜中检测二次电子和背散射电子的系统，包括微孔板(9)，该微孔板设置在下部闪烁体(5)和上部闪烁体(12)之间。 下闪烁体(5)朝向试样台(11)。 具有孔(15)的可移动光阑(14)位于光电倍增管(7)的前端与上光导(13)和下光导(6)的相应端之间。 在中间室(3)内放置至少一个聚焦电极(8)，其孔与微孔板(9)中的孔同轴地定位。 所述聚焦电极(8)位于所述下闪烁体(5)的表面上。 |
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