| 微处理的碳质材料的方法和装置使用低真空扫描电子显微镜 |
| JP2005001888 2005-1-6 发明申请 |
| 2006-7-20 |
| 要解决的问题 : 以提供可靠的超微-碳质材料的可操作的超微处理方法处理该碳质在一种纳米级材料而可靠地检查在现场。溶液 : 一种扫描电子显微镜中，该处是可调真空和大气气体将通过一个差分排空机构，和该待测的碳质材料是一种高真空下观察到的在一高分辨率通过照射与一个电子束。在处理; 所述高真空被改变到一种低真空，该碳质材料是与电子束照射，一种有限与电子束照射带电区域是溅射或等离子体离子的氧化-燃烧，和所述处理区域被适当地调节从一纳米区域以一个大微米区域，以进行超微处理。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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