| 用光纤和铟锡氧化物制作光子扫描隧道显微镜探针的方法 |
| CN200610032663.7 2006-1-6 发明申请 |
| 2006-7-19 |
| 本发明公开了一种用光导纤微和铟锡氧化物制 作光子扫描隧道显微镜探针的方法，旨在提供一种能够制作同 时具有优良的导电和透光性的光子扫描隧道显微镜探针的方 法。所述方法包括光纤的选择、缓冲溶液的配制、光纤化学刻 蚀、金属导电膜的蒸发沉积、光纤尖端金属膜腐蚀去除、ITO 薄膜磁控溅射沉积、针尖与基座连接的步骤。利用所述方法制 造的光子扫描隧道显微镜探针能够适用于扫描隧道显微镜、光 子扫描隧道 显微镜和扫描近场光学显微镜等大型现代科学仪器上。 |
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