| 利用扫描电子显微镜的影像模拟3D特征轮廓的方法 |
| TW111116327 2022-4-29 发明申请 |
| 2023-11-1 |
| 一种利用扫描电子显微镜的影像模拟3特征轮廓的方法包含提供一扫描电子显微镜的影像扫描电子显微镜的影像为一材料层上的一特征图案特征图案包含一内缘和一外缘外缘环绕内缘然后判别特征图案的内缘和外缘的位置接著依据特征图案的内缘和外缘的位置定义出一侧边区域接续自动产生一侧边模型以模拟特征图案在侧边区域的一轮廓最后依据内缘的位置、外缘的位置、材料层的厚度以及侧边区域的轮廓自动输出一3特征轮廓。; 3()....3.. |
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