| 一种浸没式显微镜物镜 |
| US11248138 2005-10-13 发明申请 |
| 2006-4-20 |
| 为了提供一种即使使用普通油也能够使数值孔径NA大于45的浸没式显微镜物镜,该物镜从物体开始依次包括第一透镜组,第二透镜组和第三透镜组。 所述第一透镜组包括第一胶合透镜,所述第一胶合透镜由平凸透镜和两个或更多个胶合正透镜构成,所述平凸透镜具有面对所述物体的平面,所述弯月透镜具有面对图像的凸面,所述两个或更多个胶合正透镜设置在所述第一胶合透镜的图像侧。 所述第二透镜组包括一个或多个胶合透镜。 所述第三透镜组从所述物体开始依次包括 : 具有面向所述图像的强凹面的胶合弯月面透镜;以及具有面向所述物体的强凹面的胶合弯月面透镜。 满足给定的条件表达式。 |