| 使用所述相同的电子显微方法和电子显微镜 |
| WOJP05009228 2005-5-20 发明申请 |
| 2005-12-1 |
| 本发明提供了一种电子显微方法能够实现一种高分辨率的基于该原理上的所述相位检索方法。一个电子显微镜(10)使用所述的方法是一种装置，其硬件专用于该相位中的检索方法(入射系统(100)，一个样品系统(200)，一检测系统(300)，一计算机系统(400))和软件(约束条件，优化方法)被形成为一整体块。所述强度分布和所述支撑所述的相位分布的狭缝(210)被给定为一真实空间的收缩条件。所述检测系统(300)包括一过程系统具有物镜(310)和一个过程检测器(320)和一种精细系统具有精细的检测器(330)。所述过程获取的图像是通过电接通所述物镜透镜。获取后所述衍射图案由电关断所述物镜，所述精细的图像是通过重新配置所述相位使用所述过程获得的图像检索方法和衍射图案。 |
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