| 光学显微镜下原位微纳划痕测试装置及方法 |
| CN202310960346.5 2023-8-1 发明申请 |
| 2023-10-31 |
| 本发明涉及一种光学显微镜下原位微纳划痕测试装置及方法，属于材料微纳力学性能测试领域。该装置包括底座、压电精密加载单元、大行程压电粗进给单元、两向力传感器单元、载物台、压电精密划痕单元。压电精密加载单元、压电精密划痕单元分别固定在底座上；大行程压电粗进给单元固定在压电精密加载单元上；两向力传感器单元固定在大行程压电粗进给单元上；载物台上方开有观察窗，固定在压电精密划痕单元上。本发明对测试条件要求不高，只需要与普通的光学显微镜配套使用即可进行原位微纳划痕试验，并获得划痕过程中材料与压头接触区域的实时清晰图像和录像；该装置结构紧凑，三维尺寸为170mm×80mm×80mm，可满足光学显微镜载物台对样品尺寸和重量的限制。 |
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