| 扫描电子显微镜，控制所述相同的方法，和电子束轴控制方法。 |
| JP2003415028 2003-12-12 发明申请 |
| 2005-6-30 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜能够容易地控制电子束的轴，一控制扫描电子显微镜所述的方法，和一个电子束轴控制方法。溶液 : 该扫描电子显微镜100是配备有一电子束源1，一个开口6aC，通过其一个从所述电子束源1发射的电子束10通过，一个物镜6会聚的电子束10在样品8所述开口6c设置在所述的背侧，一轴控制装置4控制所述所述电子束的轴10，一扫描线圈5所述电子束扫描10，一个检测器11设置在更远的所述对象比所述开口6c的前侧透镜6，和一个控制装置14扫描该开口6c所述对象的透镜6通过该电子束10，和基于所述轴控制装置4控制在一个由所述扫描检测出的图像。 |
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