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产业专利数据

扫描电子显微镜

JP2003417128 2003-12-15 发明申请

2005-6-30

要解决的问题 : 以提供一种用于一种扫描电子显微镜扫描的方法提高长度的测量精度劣化通过样品的收缩。溶液 : 通过改变一扫描的扫描线，用于缩短该时间序列第一和第二之间的扫描在所述相同的样品上的位置处，它连续地扫描所述收缩时量是小。