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高纵横比尖端制造的原子力显微镜悬臂和方法

WOUS04042181 2004-12-15 发明申请

2005-6-30

本发明提供了一种用于所述的方法选择性生长的单碳纳米管(cnt)在所述尖端的顶点一种传统的悬臂。选择碳纳米管生长是通过涂覆所述的背面建立一个悬臂，具有一个通孔的尖端顶点，与一种催化剂材料随后通过一个盖层。所述暴露的催化剂在所述底部的所述孔在所述的顶点所述的悬臂诱导生长一单CNT在该位置。