| 观测方法和扫描传输电子显微镜观察的装置 |
| JP2003390902 2003-11-20 发明申请 |
| 2005-6-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一观察具有结晶的方法，其被有效用于获取一个图像信息使用一扫描传输电子显微镜(stem)，和还提供一个观察装置。溶液 : 在所观察的方法，其中一与一电子束照射样品，和从所述样品的散射电子被检测到，该检测所述的照射角度的情况下进行所述电子束照射所述样品是不低于所述电子束所收集的角度，以被检测到。圆形二维检测器被用于该检测。信号检测部分和有选择地从所述二维检测器。多个二维检测器被用于检测所述的信号部分和选择性。所获得的信号通过所述检测被计算。 |
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