| 二维电子探测器和透射电子显微镜 |
| JP2003393979 2003-11-25 发明申请 |
| 2005-6-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一个二维电子探测器，其容易地解释一暗场图像类似地以一种通过一个haadf-杆方法获得的暗场图像和把握动态测试件中出现的现象，和还允许所观察的所述暗场图像在要获得一个微区在一希望的对比度，和以提供一透射电子显微镜。溶液 : 所述二维电子探测器电子光束照射到所述测试件和输出一个信号，基于散射电子用于所述透射电子显微镜，其检测一从所述测试件通过该照射产生的信号，和包括一种装置，用于改变所述测试件和所述检测器之间的相对位置。所述透射电子显微镜用于所述的电子光束照射到所述测试件以检测所产生的信号从所述测试件通过该照射，包括所述检测器用于检测所述散射电子从产生从所述测试件; 和一种装置，用于改变所述相对所述测试件和所述检测器之间的距离。 |
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