| 扫描电子显微镜的真空系统 |
| KR1020030074442 2003-10-23 发明申请 |
| 2005-4-29 |
| 目的 : 一种扫描电子显微镜的一真空系统被提供到维持稳定的真空状态延伸的表面一泵体的相对侧的区域和一磁性单元。结构 : 一泵体(34)被连接到一个一种扫描电子显微镜的腔室通过一连接管(32)。一种对磁性的单元(36)被安装在两侧的所述泵体(34)。第一和第二的表面区域延伸部(34‘，36’)被形成在所述泵体的相对侧(34)和该磁性单元(36)，分别。第一和第二的表面区域延伸部(34‘，36′)包括凹入部分(34a，36a)和凸部(34b，36b)。kipo2006 |
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