| 用于扫描探针显微镜悬臂，和制造方法，其 |
| JP2003348227 2003-10-7 发明申请 |
| 2005-4-28 |
| 要解决的问题 : 一悬臂的数目，以提供一种用于制造方法，用于扫描探针显微镜，没有维从半导体衬底的一单片变化。溶液 : 该悬臂10用于扫描型探针显微镜是由SOI晶片100制造的，而探针12和一支撑13被集成在所述杠杆11的一个端和所述其它端，分别。所述的制造过程中，所述杠杆11被选择到所述的纵向方向被在所述厚度方向所述SOI晶片的100，所述探头12被选择到所述的纵向方向被在平行于所述所述SOI晶片的表面100，和所述SOI晶片100被选择性地除去。该悬臂10用于扫描型探针显微镜可以基本上类似的过程中制造的，即使Si单晶晶片被使用，而不是的所述SOI晶片100。 |
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