| 扫描机构，用于扫描探针显微镜 |
| WOJP06308662 2006-4-25 发明申请 |
| 2006-11-9 |
| 一扫描机构用于一个扫描探针显微镜是提供具有一由一可移动的XY载物台部(4); XY弹性构件，Z弹性件(7a，7b)和一固定部分(5); 一固定表(1)用于固定该XY载物台; X压电体(2a)，用于移动所述可动部分(4)在X方向; 一个Y压电体用于移动所述可动部分(4)在Y方向; 一基板(11)固定在所述可动部分上的平面(4); 一Z压电体(3)固定在所述衬底上的平面(11)用于移动移动对象在Z方向; 一盖(9)，用于覆盖几乎整个可动部分(4)，X压电体(2a)和Y的压电体; 和一阻尼件(10)之间设置所述可动部分(4)和所述盖(9)在所述的外周所述Z压电体(3)。所述Z压电体的上端(3)是位于高于所述盖的上平面(9)。 |
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