| 传感器，用于扫描探针显微镜，具有圆柱形的微结构的设计作为基板上形成纳米结构，通过电子束或离子梁，在添加剂和\/或金字塔的减色工艺和设置垂直于底座 |
| DE20321217 2003-5-16 实用新型 |
| 2006-11-2 |
| 该传感器具有一个圆柱状纳米-结构上形成一微结构(15)设计为一基板(1)，通过一个电子梁或一个离子束，在一种添加剂和\/或减色工艺。所述结构(15)是additively处理的一个处理序列中通过电子束沉积或离子束沉积或subtractively处理通过一种化学或物理蚀刻工艺。该纳米-的一个金字塔结构被设置垂直于一个底座。 |
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