| 扫描机构和扫描探针显微镜 |
| JP2005119650 2005-4-18 发明申请 |
| 2006-11-2 |
| 要解决的问题 : 提供一用于构成一个扫描探针显微镜的扫描机构，以减少所述高-中的振动速度的扫描发生，linearily在XY方向中的增强的和可获得的AFM图像高的质量，和所述扫描探针显微镜使用它。溶液 : 在所述用于所述扫描探针显微镜的扫描机构具有一种叠层式压电体，至少一个方向通过一个正弦波驱动XY扫描被扫描的信号和所述所述正弦波的频率驱动信号低于所述的机械谐振频率的所述扫描机构。该样品的高度数据在所述坐标在所述扫描方向通过所述正弦波驱动信号被显示在所述扫描方向中的一个位置，其中所述坐标点的所述的定时获取所述高度一高度上的数据和所述坐标点数据与每个其它的显示屏幕一致。版权 : (C)2007，inpit |
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