| 传输电子显微镜具有扫描图像的观察功能 |
| JP2005118277 2005-4-15 发明申请 |
| 2006-11-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一传输电子显微镜具有一个扫描图像的观察功能，用于总是通过一个主光束通过该中心的一个环形暗场扫描图像检测器，甚至当扫描是进行由一一个样品上倾斜的电子束。溶液 : 一个电子光束被入射在该样品7对角地通过一个第一的偏转装置25的装置，以及二次扫描进行的同时，对角照射条件被保持。因此，所述主光束传输通过所述样品7通过一从所述环形的中心偏移的位置通过该暗场扫描图像检测器检测面10通过一个轨迹为由一虚线示出。在一个实施例中，一个用于返回所述电子束扫描信号在顺应性与一个所述的倾斜角度电子束辐射到该样品是该样品7和所述暗之间产生的场扫描图像检测器10通过一控制部分12的装置，和通过两步偏转通过一第二偏转装置28，该轨迹的所述主光束被返回到所述环形的检测面可靠地穿过该中心用于所述暗场扫描图像检测器10。版权 : (C)2007，inpit |
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