| 扫描电子显微镜 |
| JP2005119187 2005-4-18 发明申请 |
| 2006-11-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜观察时，其具有电检验部件的充电中的一种非导电通过该扫描电子显微镜检验部件是通过去除散射防止浮动件之间的电子和一物镜透镜。溶液 : 一散射的浮动电子弹出机构配置有一通过其电导电板23具有一通过孔电子束通过和电极21a和21b从所述电绝缘的导电板23之间的制备是所述检验部件和所述物镜透镜。通过施加负电位到所述电极21a和正电位到所述电极21b，电场在一种垂直于光学轴方向的所述电子束EB被产生。所述浮置的电子被喷射到一个位置开的从所述检测件由如图所示所产生的电场通过电子喷射轨道去，并从而防止与电检验部件的表面充电。版权 : (C)2007，inpit |
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