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具有改进尖端运动的探针的原子力显微镜

US11455353 2006-6-19 发明申请

2006-11-2

一种原子力显微镜探针在沿着轴线的方向上提供压痕测试功能。探针具有尖端和保持尖端的臂结构。所述臂结构具有安装在固定台架上的一端，连接到AFM尖端的另一端，以及中空框架，所述中空框架具有相对于包括轴的平面对称的形状，所述两端位于所述轴上。