| 扫描探针显微镜、使用其的试样观察方法及装置制造方法 |
| CN200610077254.9 2006-4-28 发明申请 |
| 2006-11-1 |
| 本发明提供了一种扫描探针显微镜、使用其的试 样观察方法及装置制造方法，可以高的总处理能力不破坏试样 地测量试样的正确的立体形状信息，并且可测量包含垂直侧壁 或悬垂的试样的正确的立体形状信息。在仅在测定点使探针接 触，在朝向下一测定点时，一旦提升探针并使其退避之后，移 动到下一测定点，然后通过使探针接近，不破环试样地使用正 确的立体形状的方法中，进行高频、微小振幅的悬臂励振和振 动检测，并且，为了提高在急倾斜部的接触力检测灵敏度，进 行横方向励振或纵横两方向励振。具有与测定对象的倾斜相一 致地使探针倾斜的部件和可对用于检测探针与试样的接触状 态的光由悬臂反射后的方向随着探针的倾斜产生的很大变化 进行吸收或调整的结构。 |
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