| 白光干涉显微镜测量装置测量中重复激活图像拾取头，同时操作调整装置 |
| DE102005018168 2005-4-19 发明申请 |
| 2006-10-26 |
| 根据本发明的显微镜测量仪器(1)用于在特定的用于所述weilichtinterferometrie，由此一系列的图像调整下所述的平面的测量被用于例如通过物镜调整。所述调整发生在一连续运动，由此引起的所述图像扫描是通过一个SAM偏振机构(26)所测量的所述的平面运动期间。它将接收，从而缩短的栅极时间。该SAM偏振机构(26)知道的光脉冲发送的照明机构(7)通过一kamerashutter(22)和\/或通过一个只以被形成。所述的光的所述照明机构成为一种干扰的光线的路径中的物镜(5)-反射。在另外一种分束器(8)的作用。所述干扰物镜(5)和所述图像记录机构(6)被调整到无限，I。e。所述片段在两侧的该分束器(8)一平行光线的路径上。所述照明机构(7)它是以调整所述的挡风玻璃的着色成所述eintrittspupille所述的物镜(5)。是示出。该光线的路径是不平行。该图像记录机构(8)和所述照明机构(7)然而bedarfsweise可交换的，因为从而等于所有光学距离保持。这使得所述调整可能以不同的测量任务。 |
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