产业专利数据
 
扫描电子显微镜
 
JP2005110082  2005-4-6  发明申请
2006-10-26
 
  要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜进行数字处理的图像信号获取该最深的深度聚焦和根据观察倍率中所述最佳分辨率。溶液 : 所述改变的扫描电子显微镜是提供具有一装置的光学孔径的角度通过改变多个汇聚透镜和孔径的孔直径，和根据与改变电子束孔径的角度可视场范围相当于一个像素，一种所谓的像素尺寸。版权 : (C)2007，inpit
 
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