| 扫描传输电子显微镜装置 |
| JP2005112999 2005-4-11 发明申请 |
| 2006-10-26 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描传输电子显微镜装置能够观察一种高对比度图像的基于在一亮场中的电子束的衍射图像的低倍率和可观察的一种晶体电子束的晶格基于干扰条纹在一亮场图像的大倍率仅由选择期望的观察放大率。溶液 : 一扫描的图像放大传输的图像是通过偏转与一第一步骤确定的扫描线圈8和一第二步骤扫描线圈9。一第一步骤汇聚透镜3，一第二步骤汇聚透镜4和一个物镜前磁场透镜5是链接与所述图像放大率和控制。电子束的会聚角度16低放大率的图像观察期间被控制到探头变得较小比所述电子束的会聚角度17探针大的放大图像的观察期间的同时，该收敛光阑7被固定。用于该衍射角确定由所述电子束的加速电压和所述晶体的间距要观察到，会聚角度16被设置为小于所述衍射角度，和所述会聚角17被设置成大于该衍射角。版权 : (C)2007，inpit |
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