| 传输电子显微镜与扫描图像的观察功能 |
| JP2005114185 2005-4-12 发明申请 |
| 2006-10-26 |
| 要解决的问题 : 以提供一具有一扫描传输电子显微镜图像观察功能，可以显著减少由于噪声扫描的图像质量劣化和分辨率一种用于扫描电子束的偏转电流上叠加。溶液 : 一扫描信号的大动态范围(大振幅的一个扫描信号)的一扫描电源被供给到电子枪的对准以扫描电子束的偏转线圈10和11。在这种情况下，样品4上的所述电子束扫描幅度被减小到小作为聚光透镜CL1和CL2工作作为降低眼镜。从而所述电子束的所述两个三维扫描区域是降低变窄，依赖于所述的速率通过所述降低眼镜和一个放大图像被作为一个结果获得的。在这种情况下，噪声扫描的偏转线圈被扫描在所述相同的时间和所述的质量降低图像被改进。版权 : (C)2007，inpit |
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