| 在原子力显微镜中检测高频力分量的扭转谐波悬臂 |
| US11456810 2006-7-11 发明申请 |
| 2006-10-26 |
| 一种用于测量悬臂的尖端和样品之间的高频相互作用力的方法，包括提供具有悬臂和形成在悬臂的自由端上的探针尖端的悬臂，其中悬臂具有第一形状和轴线 与所述第一形状和所述探针尖端相关联的扭力被定位在偏离所述扭力轴线的偏移位移中， 以预定的振荡幅度在基本弯曲共振频率处或附近振动悬臂， 将悬臂带到样品附近， 使用探针尖端重复敲击样品表面，并且当悬臂响应于样品表面上的特征而偏转时，检测悬臂的高频振动谐波的幅度或相位的变化。 |
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