激光扫描共聚焦显微镜扫描畸变现象的全场校正方法
 
CN200610012007.0  2006-5-26  发明申请

2006-10-25
 
  激光扫描共聚焦显微镜扫描畸变现象的全场校 正方法,采用标准光栅试件,用LSCM扫描云纹方法得到扫描 云纹图像,再通过云纹相移技术对原始图像进行四步相移处理 得到相移云纹图像,根据云纹相移理论由相移得到的云纹图得 出相位图,解包裹后得到原始相位图,根据相位和位移场的关 系得到扫描畸变场,从而达到校正的目的。本发明同现有方法 作比较,有如下显而易见的突出特点和显著优点:本发明通过 扫描云纹和云纹相移技术,将扫描控制单元的畸变现象引起的 扫描线的畸变场直接测量出来。具有精度高、操作简单、实时 测量且可进行全场测试等特点。
 
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