| 扫描探针显微镜 |
| JP2006148810 2006-5-29 发明申请 |
| 2006-10-19 |
| 要解决的问题 : 以调整激光反射的光的可达距离，以一种光学位置检测器，以及便于测量，通过改变激光的照射位置和一激光照射角度在一真空，在一加热或在冷却状态，为是，即使如果一个悬臂被弯曲，通过一热影响，其中一激光发生器和所述的光学位置检测器被安装在外部的一真空容器。溶液 : 所述激光发生器61和所述的光学位置检测器8被安装在外部的所述真空容器63，和一个样品台65被放置在所述真空容器63，和安装，加热或冷却样品9，使得所述照射位置和照射角度以一激光反射面被改变，在该点，通过该激光发生器61和所述的光学位置检测器8，其被安装在外部的所述真空容器63抽真空期间，加热或冷却状态。版权 : (C)2007，inpit |
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