| 样品位置检测方法和装置,用于传输电子显微镜 |
| JP2005107493 2005-4-4 发明申请 |
| 2006-10-19 |
| 要解决的问题 : 以提供一种方法和装置,用于检测样品的位置用于一个传输电子显微镜(tem),和在特定的,一个样本位置检测装置,用于一个传输电子显微镜能准确识别的一金属TEM样品的部分和一孔部,即使在一个图像包括强噪声或阴影。溶液 : 所述传输电子显微镜包括 : 一TEM1; 一个接口,用于控制所述TEM1通过一个计算机3; 一数字照相机4,用于拍摄一TEM图像; 和一个接口,用于从所述数字照相机4捕获一个信号。所述传输电子显微镜中,提供有 : 所述接口,用于控制所述TEM1; 该计算机3具有该接口用于捕获一个信号从所述数字照相机4发送用于拍摄图像所述的TEM1; 和一可发送-位置检测装置6用于检测所述TEM样品中的一个位置,其中一电子束被可传输的。版权 : (C)2007,inpit |