显微镜检查装置
 
EP06007537  2006-4-10  发明申请

2006-10-18
 
  与本发明,当一个外部力被施加到所述物镜的透镜尖端在一个方向相交所述的光学轴,其外部力被有效地缓解,因此所述物镜的透镜和样品保持所述完整性。本发明提供了一种显微镜检查装置包括一个装置主体,一基件固定到所述装置主本体,一物镜透镜安装部件,用于安装一物镜透镜单元,和一支撑机构,用于支撑所述物镜在这样的一种方式安装部件作为以使其在所述的光学轴交叉的方向上移动所述物镜透镜单元相对于该基座构件。
 
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