| 扫针式原子力显微镜之光束追系统 |
| TW094111270 2005-4-8 发明申请 |
| 2006-10-16 |
| 扫针式原子力显微镜之探针，在扫描过程中会有水平方向之位移及垂直方向之运动，而样品则固定不动。因扫描运动对探针产生之假性挠曲，应设法加以补偿。本发明之原子力显微镜之光束追系统设计成使该聚焦雷射光点在扫描过程之三度空间运动中，始终能追该探针之悬臂上之同一点。如果样品与探针间距离太远，且无法产生挠曲。则使雷射光束由运动中之悬臂所反射回来之雷射光束射中光学侦测器上一定点。依据本发明所设计之光路机构，可将水平方向及垂直方向之追误差限制在小於0.3nm(於扫描距离为4μm时)至小於12nm(扫描距离为100μm时)之间。 |
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