| 扫描探针显微镜 |
| JP2005097509 2005-3-30 发明申请 |
| 2006-10-12 |
| 要解决的问题 : 以解决一个问题,其中一个接触时存在潜在的图像显示一种不准确的风险一电压依赖性曲线为异常,和一个问题,其中需要一个专用的构成部件,以增加成本; 当使用一种skpm。溶液 : 基于获得的所述接触电位是在通过扫描一个信号作为提供到静电一个偏置电压,在本发明提供的该扫描探针显微镜与一相对的导电探针以一种样品,激励装置,用于激发所述的探针,一个扫描器用于扫描二维所述样品相对于所述探头,和用于改变所述样品和所述探针之间的距离,一个用于施加偏置电压的偏置电压施加装置所述样品和所述探针之间,一吹扫装置,用于扫描所述偏置电压的偏置电压,和一个静电信号检测装置,用于检测该信号为到所述静电从所述探针。版权 : (C)2007,inpit |