| 扫描探针显微镜 |
| JP2006134687 2006-5-15 发明申请 |
| 2006-10-12 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜，其可以测量在固体形状精确的信息的一个样品，同时与所述分布信息在所述样品的最高吞吐量所述的本地特性，而不损坏样品。溶液 : 该扫描探针显微镜是具有一个光学高敏感的接近传感器，以控制一样品之间的近似及一探针，允许高的速度接近到每个测量点。进一步所述探针是间歇地与所述样品接触以获得样品的高度数据，使得所述所述样品上的探头将不被拖动，所述样品上分布的同时获得关于材料的附加信息，而不降低扫描速率同时通过施加电压到所述的探针，通过振动所述探针以测量响应，和通过检测本地所述样品表面上的光功率的所述周期期间接触到所述样品。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号