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扫描电子显微镜中定量三维重建的方法和装置

US11099489 2005-4-6 发明申请

2006-10-12

一种用于在扫描电子显微镜系统中产生三维断层图像的方法和设备。在样品的顶表面上提供至少两个纵向标记，所述纵向标记之间包括一个角度。在连续的图像记录中，确定这些标记的位置，并使用这些标记来量化在连续的图像记录之间去除的切片厚度。