| 扫描探针显微镜，测量样品的表面形状的方法，和探针装置。 |
| WOJP06306905 2006-3-31 发明申请 |
| 2006-10-12 |
| 一扫描探针显微镜，其中一个检测机构是减小尺寸和重量，以使所述显微镜中，以准确地测量一个三-维样品形状。一扫描证明显微镜(10)具有一个XY样品台(14)，一悬臂(16)作为一悬臂支持在一个端通过一扫描机构(22)和具有一个探针(24)固定在所述另一端作为自由端，所述扫描机构(22)具有一压电元件(18aX)，一个压电元件(18a，Y)，和一压电元件(18a，Z)用于移动所述悬臂(16)在所述X-方向，Y-方向，和Z-方向，和一扫描控制电路(20)。进一步，一个振荡的压电元件(28)通过一高频率驱动信号从一个振荡器(26)振荡该悬臂(16)被固定到其侧的所述悬臂，它是在一个悬臂方式支持。进一步，一个应变电阻元件(30)，一自检测型传感器，被嵌入在该悬臂(16)。 |
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