| 电源系统、电子光学镜组和扫描电子显微镜 |
| WOCN22087978 2022-4-20 发明申请 |
| 2023-10-26 |
| 本公开涉及电源系统、电子光学镜组和扫描电子显微镜。电子光学镜组包括电子源。给电子源供电的电源系统包括第一电源、第二电源、一个或多个第一镜组电源和泄放装置。第一电源耦接至电子源，并使电子源产生电子。第二电源耦接至第一电源，并提取电子。每个第一镜组电源的正极耦接至第二电源的正极并与第一孔径相关联，每个第一镜组电源在第一孔径上产生预定的第一电压，以使电子中用于形成电子束的电子以第一运动模式通过第一孔径。泄放装置耦接至任一个第一镜组电源，并为电子中经过任一个第一镜组电源的电子提供泄放路径。根据上述装置，可以有效地消除电源系统中的电子积聚的现象，从而保障电子光学镜组的正常工作。 |
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