| 用于扫描探针显微镜并且带动探针扫描的扫描器 |
| CN200610067189.1 2006-4-7 发明申请 |
| 2006-10-11 |
| 本发明涉及一种用于扫描探针显微镜并且带动 探针扫描的扫描器。它包括把X－Y－Z一体的四象限分割电 极的压电陶瓷扫描管一端固定于壳体上的连接套，绝缘隔离垫 片，套管，用于安装悬臂梁探针的专用扫描探针卡具，圆柱形 光学平行玻璃和光学会聚物镜；压电陶瓷扫描管一端固定于壳 体上的连接套，另一端与套管的上端相接，套管的下端安装带 有悬臂梁探针的扫描探针卡具；压电陶瓷扫描管与套管内壁固 定胶粘接在圆柱形光学平行玻璃的圆柱面上；在套管的上端内 壁平行玻璃的下方安装光学会聚物镜，使得平行准直的激光束 会聚到悬臂梁探针的背面；压电陶瓷扫描管通过驱动细电缆线 接到压电陶瓷伸缩控制驱动器上。 |
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