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像差校正器，用于例如透射电显微镜或扫描电子显微镜，具有第一和第二的八极彼此不成像，和第二和第三彼此八极成像，第一轴向平面内

NL1029066 2005-5-18 发明授权

2006-10-9

在第一轴向平面，第一和第二彼此八极不成像，和第二和第三在彼此八极成像。在第二轴向垂直的平面第一轴向平面，第一和第二彼此八极不成像，和第一和第三在彼此八极成像。第一轴向平面中的一个轴向光束穿过中轴点第一的八极和第二轴向平面通过轴点第二的八极。