| 电子源具有碳纳米管，电子显微镜使用它，电子束描绘装置 |
| JP2006155551 2006-6-5 发明申请 |
| 2006-10-5 |
| 要解决的问题 : 提供一种高可靠性的电子源，可保证碳纳米管之间的欧姆接触和导电底座 材料制成，具有足够的接合强度，有利于束轴调整； 提供一种电子显微镜能够提供提高的分辨率和发光亮度， 降低样品的损伤降低的加速电压， 和降低成本，其尺寸与传统的相比，新型通过使用所述电子源； 和提供一种电子束描绘装置能够提供提高了的精度和效率， 降低了成本和尺寸。溶液 : 该电子源具有碳纳米管，其特征在于 : 包括导电基材， 和碳纳米管进入欧姆接触与导电基材。版权 : (C)2007，补正 |
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